La unua amasproduktada ekipaĵo por purigado de hidrofluora acido en Ĉinio estis sukcese translokigita en la panelan fabrikon

Hidrofluora acida purigado estas ŝlosila ligo en la ekrano -procezo. Ĝia puriga efiko rekte influas la finan rendimenton, efikecon kaj stabilecon de la aparata strukturo, kaj rilatas al la rendimenta indico de la fina produkto. Hidrofluora acida purigado ne nur forigas malpuraĵojn sur la surfaco de la aktiva tavolo sed ankaŭ pasivas la surfacon, tiel reduktante la adsorban kapablon de interfacaj malpuraĵoj. La postuloj por surfaca pureco estas tre striktaj kaj teorie ne permesas la ĉeeston de iuj eroj, metalaj jonoj aŭ organikaj vostoj. Aldonita, akva vaporo kaj rusto-tavoloj postulas atom-nivelan ebenaĵon sur la surfaco por certigi la procezan fidindecon de la post-pretiga procezo.